委員紹介

MEMBERS

公益財団法人名古屋産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター

http://www.nipc.or.jp/placia/

1. 先進プラズマ技術による次世代製造プロセスの開発：
   先進プラズマ技術の産業界への移転を進め、産業振興を行っています。
   1. 大気圧プラズマ処理による樹脂めっき技術：
      大気圧プラズマによる表面改質により、クリーンでダメージの無い樹脂への無電解めっきが行えます。
   2. 高密度プラズマによる金属材料の高速高機能窒化：
      鉄鋼の高速な窒化による表面硬化やアルミニウムの表面窒化によりAlN層を形成します。
   3. 液面プラズマを用いたナノ微粒子酸化物の水分散液の合成：
      分散剤レス、コンタミフリーの酸化チタンナノ微粒子の水分散液を合成します。
2. 超小型原子状ラジカルモニターの開発とプラズマ診断・制御：
   超小型真空紫外光源を用い、プラズマ中の水素、窒素、酸素、炭素、フッ素ラジカルの絶対密度計測、挙動解明をします。

1. M. Ito, M. Hayakawa, S. Takashima, E. Asami, T. Aoki, M. Oka, H. Asano, M. Kitahara, S. Nakata, K. Yamaguchi, Y. Murase, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 116201, 2012.
2. 高島、他, 特許第5492140号
3. S. Takahashi, R. Kawauchi, S. Takashima, S. Den, T. Katagiri, H. Kano, T. Ohta, M. Ito, T. Suzuki, K. Takeda, M. Hori, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 076502, 2012.
4. T. Yamaguchi, T. Komuro, C. Koshimizu, S. Takashima, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, M. Hori, J. Phys. D: Appl. Phys. 45, 025203, 2011.
5. S. Takahashi, S.Takashima, K.Yamakawa, S. Den, H.Kano, K. Takeda, M. Hori, J. Appl. Phys. 106, 053306, 2009.