研究会一覧
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(定例研究会)
第149回研究会
『プラズマを使った材料分析技術の最前線』
開催日: | 2021年1月20日(水) |
開催形式: | ハイフレックス形式 |
趣 旨: | プラズマプロセスで形成した材料の物性評価やそのメカニズム解明において表面分析は必要不可欠な技術であり,大学での基礎研究から企業での製品開発や生産現場においても幅広く活用されている。また,ナノテクノロジーの進展と電子デバイスの微細化に伴い,材料の表面・界面の制御は益々重要となり,それらを分析する技術も近年目覚ましい進展を遂げて来ている。そこで,本研究会では電子デバイスに使われる薄膜材料の分析に焦点を当て,最新応用事例を中心に紹介いただける講師陣を招き,各研究分野に活用いただける機会としたい。 |
開催通知PDF: | こちら (要ID、パスワード) |
プログラム(敬称略) | |
13:00~13:05 | 委員長挨拶 日本学術振興会第153委員会 委員長 渡辺 隆行 |
13:05~13:55 | (招待講演)「極薄膜や積層膜における膜質・界面評価技術」 株式会社東レリサーチセンター 棚橋 優策 |
13:55~14:35 | (招待講演)「XeプラズマFIBによる高速加工およびGaフリー試料作製」 株式会社東陽テクニカ 鈴木 直久 |
14:35~14:50 | (休憩) |
14:50~15:20 | (招待講演)「三次元アトムプローブによる局所組成分析」 キオクシア株式会社 坂本 旭 |
15:20~16:00 | (招待講演)「固体直接定量分析精度を飛躍的に向上させた高速多点レーザーアブレーション」 サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 黒木 康生 |
16:00~16:40 | (招待講演)「GDプラズマを利用した深さ方向分析 GD-OES/TOFMS」 株式会社堀場製作所 内海 一馬 |
16:40~17:00 | 企業紹介(SPPテクノロジーズ株式会社,ストローブ株式会社) |
17:00~17:10 | 総会 |